O acionamento Panasonic + motor de eixo oco garantem operação estável,-alta-de longo prazo e de longo prazo.
Estrutura do motor de alta-velocidade com eixo oco: Velocidade nominal: 5.000 rpm, velocidade máxima de 6.000 a 8.000 rpm.
Tempo de aceleração/desaceleração ultra{0}}rápido: 47750R/S².
Baixo ruído, baixa vibração, coeficiente de desvio da extremidade do eixo tão baixo quanto 0,01 mm.
O design do eixo oco a vácuo e o design exclusivo da extremidade do eixo garantem uma operação suave do pedaço.
Potência do motor: 750/1000 W, design de sistema-resfriado a água, atende aos requisitos de wafers de 6, 8 e 12 polegadas.
O design personalizado da extremidade do eixo está disponível para diferentes usuários.
