Com o desenvolvimento da indústria de semicondutores da China, o desenvolvimento de componentes-chave para equipamentos de processo tornou-se uma restrição crítica ao desenvolvimento de equipamentos. À medida que o apelo à localização da tecnologia nacional de semicondutores se torna mais forte, mais e mais tecnologias de estrangulamento na indústria de semicondutores serão ultrapassadas. Com base em anos de experiência na indústria de semicondutores, nossa empresa desenvolveu um servomotor de{2}}eixo oco de alta-velocidade para adsorver wafers em equipamentos de revestimento, desenvolvimento e limpeza de semicondutores. Este motor apresenta alta aceleração, ampla faixa de velocidade e alta capacidade de resposta, e tem sido amplamente elogiado pelos clientes do setor.
Aplicações do servo motor-de eixo oco:
Equipamentos de exposição e revelação (revestimento, revelação): Principais equipamentos para processos de fotolitografia, controle de revestimento, exposição e revelação.
Equipamentos de limpeza, revestimento, revelação e remoção de filme.
Adequado para limpeza por enxágue físico, limpeza de partículas e processos de pulverização.
Especificações do produto servo motor de eixo oco e áreas de aplicação:
750W/1000W – 5.000, 6.000 rpm
Áreas de aplicação (modelos-de última geração):
Equipamentos semicondutores de 8 e 12 polegadas.
Processos como revestimento, revelação, limpeza e gravação.
A aceleração máxima pode atingir 50000 R/S² de aceleração instantânea.
O design especial da extremidade do eixo garante o menor coeficiente de desvio de carga na extremidade do eixo.
